液體中的粒子污染對產(chǎn)品質(zhì)量有著顯著的影響。此外，在人們的消費生活中懸浮于液體的粒子特性對人類也有影響，所以在各個領(lǐng)域?qū)τ谝后w中粒子的控制也變得尤為重要。液體粒子實時在線監(jiān)測系統(tǒng)可以對用戶液體流路進行實時動態(tài)監(jiān)測，同時產(chǎn)生報表，用于問題查找分析，是用戶生產(chǎn)管理必不可少的一部分。

液體粒子實時在線監(jiān)測系統(tǒng)圖

主要應(yīng)用領(lǐng)域

液體粒子計數(shù)器的使用主要是為了控制化學(xué)品種的粒子，如半導(dǎo)體制作過程中的專用材料SOG（旋轉(zhuǎn)涂布玻璃）和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑（比如堿、有機溶劑和氫氟酸）。另外，也可以檢測化學(xué)機械拋光中大粒徑的研磨液等。

特殊氣體粒子監(jiān)測系統(tǒng)

使用在半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池和其他行業(yè)的產(chǎn)品處理中的許多原材料氣體是有毒、易燃、腐蝕性和活躍性的。比如這些氣體會和水汽發(fā)生反應(yīng)從而輕易產(chǎn)生顆粒物。控制這些反應(yīng)從而抑制粒子在特殊氣體中的污染是很有必要的。