在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),既避免了人工巡檢的人為因素對(duì)潔凈室環(huán)境的干擾,也滿足獲得連續(xù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的要求。
電子行業(yè)粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)除了可選擇無(wú)線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)外,還可以采用Manifold順序粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),這是一個(gè)較為經(jīng)濟(jì)的方案。該系統(tǒng)配有32個(gè)采樣口(即可全選也可部分選擇使用),系統(tǒng)依次對(duì)每個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)進(jìn)行采樣,采樣輪回周期取決于監(jiān)測(cè)點(diǎn)數(shù)量,最小監(jiān)測(cè)粒徑可達(dá)0.1μm。亦可搭配無(wú)線系統(tǒng)使用。
*多路監(jiān)控多達(dá)32個(gè)點(diǎn)的位置
*自?xún)魰r(shí)間短
*雙向控制能力
*多點(diǎn)采樣較為經(jīng)濟(jì)
*采樣管路可長(zhǎng)達(dá)38.1米
*采樣點(diǎn)順序可編程
*可與流量為28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便攜式粒子計(jì)數(shù)器相兼容
*綜合控制器的低復(fù)雜性
*雙向控制能力
*使用壓力傳感器以確保真空流量
*雙向步進(jìn)馬達(dá)控制方向
數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)控,報(bào)警
數(shù)據(jù)趨勢(shì)分析
數(shù)據(jù)報(bào)告導(dǎo)出
3級(jí)權(quán)限管控
具備后期的擴(kuò)展性
支持郵件發(fā)送
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設(shè)備遠(yuǎn)程控制
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